近日,陕西省人民政府发布《陕西省人民政府关于 2023年度陕西省科学技术奖励的决定》(陕政字[2024〕34号)。
华羿微电子股份有限公司的“高效硅基功率器件与集成模组技术”,荣获2023年度陕西省科学技术进步奖二等奖。
本项目针对高精度传感器系统应用,系统研究了高效硅基功率器件与集成模组技术,提出了硅基功率半导体器件电场调制新理论,突破了高效硅基功率半导体器件结构-工艺-驱动-集成封装等协同技术,解决了硅基功率半导体器件体内电场限制、高效驱动和多芯片可靠集成封装等难题,研制了一系列高效硅基功率半导体器件和集成模组芯片,成果取得了显著的经济效益和社会效益,为高性能自主可控高性能半导体功率器件与模组提供了充分而全面的理论和技术支持。
本项目在高效硅基功率半导体器件、高效高可靠功率驱动集成电路、高可靠功率器件与模组集成封装等方面整体上处于国际先进水平,其中功率器件结构、高可靠集成封装等方面处于国际领先水平。